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真(zhen)空計量泵(bèng)泵的選用(yong)

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1、真(zhēn)空泵的工(gong)作壓強應(ying)該滿足真(zhen)空設備的(de)極限真空(kōng)🔴及工作壓(ya)強要求。如(rú):真空鍍膜(mó)要求1×10-5mmHg的真(zhen)空度,選㊙️用(yòng)的真空泵(bèng)的真空度(du)至💋少要5×10-6mmHg。通(tōng)常選擇泵(beng)的真空度(du)要高于真(zhēn)空設備真(zhēn)空度半個(ge)到一個數(shu)量級。

  3、真空(kong)泵在其工(gong)作壓強下(xià),應能排走(zou)真空設備(bèi)工藝✂️過程(cheng)㊙️中産生的(de)全部氣體(ti)量。

  4、正确地(di)組合真空(kōng)泵。由于真(zhen)空泵有選(xuǎn)擇性抽氣(qì),因而,有時(shí)選用一種(zhong)泵不能滿(man)足抽氣要(yào)求,需要幾(ji)種泵組❤️合(hé)起來,互相(xiang)補充才能(neng)滿足抽氣(qì)要求。如钛(tài)升華泵對(dui)氫有很高(gao)的抽速,但(dan)不能抽氦(hài)⛱️,而三極型(xing)濺射離子(zi)泵👌,(或二極(ji)型非對稱(cheng)陰極濺射(she)離子泵)對(duì)氩有一定(dìng)的抽速,兩(liǎng)者組合🏃🏻起(qi)來,便會使(shi)真空裝置(zhì)得♉到較好(hao)的真空度(dù)。另外,有的(de)真空泵不(bú)能在大氣(qì)壓下工作(zuo),需㊙️要預真(zhēn)空;有的真(zhēn)空泵出🌈口(kou)壓強低于(yu)大氣🧑🏽‍🤝‍🧑🏻壓,需(xu)要前級泵(bèng),故🔞都需要(yao)把泵組合(hé)🌐起來使用(yòng)。

  5、真空設備(bèi)對油污染(ran)的要求。若(ruò)設備嚴格(gé)要求無油(you)時💔,應該選(xuan)各種無油(you)泵,如:水環(huán)泵、分子篩(shāi)吸附泵、濺(jian)🌂射離子泵(bèng)、低溫泵等(děng)。如果要求(qiu)不嚴格,可(kě)以選擇有(you)油泵,加上(shang)一些防油(you)污染措施(shī),如加冷👌阱(jing)、障闆、擋油(you)阱等,也能(neng)達到清潔(jié)㊙️真空要求(qiú)。

  6、了解被抽(chou)氣體成分(fen),氣體中含(hán)不含可凝(níng)蒸氣,有無(wú)🤟顆粒灰塵(chén),有無腐蝕(shí)性等。選擇(ze)真空泵時(shí),需要知道(dào)氣體✉️成分(fèn),針對被抽(chou)氣體選擇(zé)相應的泵(beng)。如果氣體(ti)中含有蒸(zheng)氣、顆粒、及(jí)腐蝕性氣(qi)體,應該👣考(kao)慮在泵的(de)進氣口管(guan)路上安裝(zhuāng)🛀輔助設備(bèi)🤩,如冷凝器(qi)、除塵器等(děng)。

  8、真空(kong)泵工作時(shí)産生的振(zhen)動對工藝(yì)過程及環(huan)境有無影(yǐng)響。若♋工藝(yi)過程不允(yun)許,應選擇(zé)無振動的(de)泵或者采(cai)取防振動(dòng)措施。

  9、真空(kōng)泵的價格(ge)、運轉及維(wei)修費用。


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